這是開機之後點火出現的錯誤

似乎儀器一直到完全切換成Analysis Mode之後才出現錯誤而熄火.

從Standby Mode 到 Analysis Mode 過程中可以發覺點火時有用一組點火的參數, 到
要進入Analysis Mode之前都是這組參數.

進入Analysis Mode的動做是把Gate Valve 打開, 以及載入Atune.U

很可能就是Atune.U 參數造成的熄火, 最可能的數據是RF Power, 這個參數在手動
調機時, 也被警告要以 0.01 為變動的步進大小, 所以要是他的內容, 和點火參數差
別太多, 一載入就容易造成熄火當機了.

所以解決方法, 是去載入一個沒有氣體的模式, 檢討參數並回存 Atune.U

您好
我在操作ICP-MS時
一開始的purge動作
我大約會讓他進行5分鐘 流率設定在18L/min
他點火也都算順利
但今天 在操作時 卻發生當power升到900w時 就降回
而且一般情況下 在900w時應該可以看到有點火焰產生
今天卻都沒看到
有人根據過去的經驗 建議我在增加purge時間
認為說 可能有氣體殘留 排不乾淨
但後來我一共試了三次 結果一樣都是在900w時失敗
因此我就開始懷疑purge時間不夠的理由
於是我回去看的atune的調機檔
發現到 我在操作時carrier與makeup gas我大約都設在0.65L/min左右
但今天卻被改成carrier 0.9 而 makeup gas 0.3L/min
所以我在將他調回來以後
重新點火 就成功了
因此我的想法是
是否因為carrier gas提升時 讓感度增加
但他的makeup gas 卻被調得太低
所以造成plasma無法產生
不知道我這樣的懷疑是否正確?
因為調整那樣以後 升到900w時 就可正常看到有火焰開始產生

Coupling 正常的時候， RF 的 Forward Power 是在設定瓦數的固定位置，而Reflect
Power 很低， 錯誤或不正常 RF 的 Forward Power 仍然在設定瓦數的固定位置 ，
Reflect Power 卻很高，且系統無法將Reflect Power調低，因此熄火。